桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀

桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀

產(chǎn)品介紹：

勻膠機(jī)是一種用于在基片表面均勻涂覆光刻膠或其他功能性涂層的精密設(shè)備，工作原理是通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)

生的離心力，將滴加在基片中心的光刻膠均勻地甩開，并在基片表面形成一層厚度均勻、表面平整的膠膜。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造(晶圓涂膠)、平板顯示(玻璃基板涂膠)、光學(xué)元件(透鏡、棱鏡等涂膠)、太陽能

電池(硅片涂膠)、生物芯片(基片涂膠)等工藝中。

桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 可載基片尺寸：φ10-φ100mm 圓片或最大100*100mm方片

l 7寸全彩觸摸屏，高級(jí)PLC控制，設(shè)置程序和真空吸附一鍵啟動(dòng)按鈕, 操作方便

l 可單步和多步（5組5步）勻膠操作

l 工業(yè)級(jí)馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，運(yùn)行穩(wěn)定

l 溶劑PC透明蓋；盆腔PP材質(zhì)，耐腐蝕

l 真空泵與勻膠機(jī)同步工作,勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn), 真空泵就啟動(dòng),勻膠機(jī)停止,真空泵就停止

l 專有防堵設(shè)計(jì)，易于清潔

l 配有負(fù)壓表，可實(shí)時(shí)觀察片子是否吸緊，是否漏氣

技術(shù)參數(shù)：

1.標(biāo)配三種真空吸盤（φ10mm,φ20mm,φ45mm）
  φ10mm吸盤（可載基片最小φ10mm   最大φ20mm）
  φ20mm吸盤（可載基片最小φ20mm   最大φ47mm）
  Φ45mm吸盤（可載基片最小φ47mm   最大φ55mm）

2. 轉(zhuǎn)速范圍：99-12000RPM               3.  轉(zhuǎn)速分辨率：  1RPM

4. 加速可調(diào)范圍：99-10000RPM           5. 最大單步步長：4000S

6. 時(shí)間分辨率：0.1S                    7.  操控方式：7寸觸摸屏

8.  單步或多步運(yùn)行可選，最多可設(shè)置5組5步程序

9.  減速可調(diào)范圍：300-3000RPM

10.  真空輸入：0.06-0.09Mpa，真空流量最小15L/Min

11. 真空接口：設(shè)備后面板出口外徑6mm

12. 電源輸入：220V 150W

13. 外形尺寸：335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)